Process engineering
工序環(huán)境
露點(diǎn)：-50℃
粉塵：10萬(wàn)級(jí)
設(shè)備能力參數(shù)
1.注液精度：±0.05g。
2.注液次數(shù)：1～10次可調(diào)。
3.真空：-0.08～-0.1MPa。
4.注液量、注液速度、抽真空時(shí)間、干燥氣加壓時(shí)間均可調(diào)。
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